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CVD工艺设备用尾气处理装置

CVD工艺设备用尾气处理装置

参数说明

品牌: 茂竺 应用领域: 电子及半导体
处理气体类型: 工业酸碱废气 形式: 燃烧+水淋式
加工定制: 处理气量: 工艺尾气有毒有害气体
净化率: 99% 型号: HEAT MS096
规格: HM096 商标: 茂竺
产量: 100

详细介绍

各类CVD工艺设备尾气的处理,采用燃烧+水淋式的处理方式,
可以根据采用的气体种类和气体流量进行设计和定做。
完全可以代替韩国等进口设备。

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